日本科赋乐内抛光系列品质流量节制器
日本KOFLOC5100系列品质流量节制器-内抛光
金属密封，泄露率1*10-11pa·m³/s以下
外部抛光Ra≤0.1，根绝二次净化介质
±15VDC供电机能不变，0-5V摹拟旌旗灯号加倍通用
合用于高真空、半导体和对管路清洁度高请求场所

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产地	入口	加工定制	是
质保	1年

日本科赋乐内抛光系列品质流量节制器
日本KOFLOC5100系列品质流量节制器-内抛光
金属密封，泄露率1*10-11pa·m³/s以下
外部抛光Ra≤0.1，根绝二次净化介质
±15VDC供电机能不变，0-5V摹拟旌旗灯号加倍通用
合用于(yu)高真空、半导(dao)体和对管(guan)路清(qing)洁度高请求场所(suo)

日本科赋乐内抛光系列品质流量节制器

机能参数：

测量范围(N2)	1SCCM-20SLPM
gps精度	±1.0%FS
对此性	±0.2%FS
呼合时晨	1秒之外
耐压性	1.0Mpa
通道大压	O.3Mpa
创新举措压值	0.05-0.3Mpa
外露率	1*10-11pa·m³/s低于
内拋光	Ra≤0.1
温度表规模化	5-45℃
空气湿度产值	10-90%RH(不可以冷凝水)
才质	自身SUS316L
	隔绝圈SUS316L、PTFE
电力工程接口类型	DB9
摹拟旌旗灯号	0-5V所在/所在
共电	+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
压缩空气管毗连	高配1/4UJR
	配搭1/8UJR
食用量	约1000g

★充分利用遵循一：进气管道网上号召裝置上的过滤便于器、水和油份离器进行，基本保障乙炔气的枯燥无味便于《湿球温度不跨度90%(根本性没能泡水)、沉渣煤尘不跨度20廊坊可耐电器有限公司》。二：用番笕水对蒸汽管道已停暴露查重时，只可将番笕水洒水在蒸汽管道热议上，不会喷在仪容仪表或电插孔上。三：器前，请将辅助装备液压管路开始纯体吹扫。四：耐压性1.0Mpa，出入口大有压力5kg。五：许要停掉零零漂移清空的时刻，验证进/出口额没用户没压力值下再操作。

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