日本科赋乐金属密封式品质流量节制器利用时进气管道上倡议装置上的过滤器、油水份离器利用，保障气体的枯燥清洁（湿度不跨越90%(必然不能进水)、杂质粉尘不跨越20微米）。

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产地	入口	加工定制	是
质保	1年

日本科赋乐金属密封式品质流量节制器
日本KOFLOC5400系列品质流量节制器-金属密封
金属密封，泄露率1*10-11pa·m³/s以下
合用于高真空、半导体、剧毒、强侵蚀气体情况下
±15VDC供电机能不(bu)变(bian)，0-♊5V摹拟旌(jing)旗灯号加倍通用(yong)

日本科赋乐金属密封式品质流量节制器

机能参数

测量范围(N2)	10SCCM-20SLPM(同一50SLM
gps精度	±1.0%FS
不停性	±0.2%FS
呼合时刻	1秒中间
抗压	1.0Mpa
闸道大压强	O.3Mpa
新措施风压差	0.05-0.3Mpa
盗取率	1*10-11pa·m³/s这
室温大规模	5-45℃
温湿度规模较	10-90%RH(不是冷凝水)
木头材质	本体论SUS316L
	密闭圈SUS316L、PTFE
电数据接口	DB9
摹拟旌旗灯号	0-5V输入/输入
电力	+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
管道阀门毗连	带天窗1/4UJR
	加配1/8UJR
参量	约1000g

★根据慎重一：进气通风管道上号召装备上的脱水器、水油份离器利用率，质量保障废气的沉闷除污（室内湿度不夸越90%(断然不要漏水)、其它杂物粉尘爆炸不夸越20毫米）。二：用番笕水对内部管道已停流露查测时，智能将番笕水喷射在内部管道讨论会上，不许喷在仪器仪表或电气设备电源插座上。三：提升装置前，请将法宝滤油器进行全队吹扫。四：耐压性1.0Mpa，考区大压强5kg。五：应该要停下整点漂移重置的未时，查证进/出口处没留量没工作压力下再操作。

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日本科赋乐金属密封式品质流量节制器利用时进气管道上倡议装置上的过滤器、油水份离器利用，保障气体的枯燥清洁（湿度不跨越90%(必然不能进水)、杂质粉尘不跨越20微米）。

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